1、用*气、**蒸汽为源气体,通过微波增强的化学气相沉积方法,实现了在金刚石表面气相外延生长单晶金刚石薄膜。
2、采用均匀的多孔阳极氧化铝做掩膜在*化物气相外延设备中生长出高质量的氮化镓膜
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