1、指电子束蒸发器或曝光系统。
2、采用电子束蒸发沉积技术制备了平板偏振膜
3、采用电阻蒸发和电子束蒸发方法，制备了红外薄膜材料的单层膜，包括*化物、硫化物和硒化物。
4、方法：用电子束蒸发和*频磁控溅*两种技术制备了天然HA薄膜。
5、实验结果和理论分析表明，动态变化的电子束蒸发工艺是制备优质ito透明导电膜的有效方法。
6、最后利用电子束蒸发技术制备了薄膜样品，样品的光谱*能完全能够满足使用要求。
7、该系统集脉冲*极弧离子镀、直流*极弧离子镀、磁控溅*和电子束蒸发等镀膜工艺以及气体和金属离子注入于一体。
8、本论文利用电子束蒸发方法制备氧化钨、氧化镍薄膜的基础上，研究了热处理工艺对于薄膜电致变**能的影响。
9、用AFM表征了有离子源电子束蒸发制备薄膜的表面形貌、粗糙度、相位信息，分析认为此工艺下Ta膜为岛状模式生长，不同厚度薄膜表面粗糙度变化不大。
