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1、CMP后大量颗粒吸附在芯片表面,根据颗粒在芯片表面的吸附状态,确立
优先吸附
模型。
2、分析了溶质在膜表面
优先吸附
和受排斥情况下的浓差极化现象。
更新时间:2021-09-19 14:54:25
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